蛇腹を意味するベローズ(Bellows)には、溶接ベローズや成型ベローズなど製造方法によっていくつかの種類があります。
ベローズは、気体や液体の密閉性を保ちながら柔軟に伸縮させることや曲げることができるため、圧力検出やシールに用いられます。金属ベローズは、強度、耐食性、耐熱性に優れるため、半導体製造装置の真空機器をはじめ、航空宇宙、医療分野など幅広く使用されています。
半導体製造装置や真空装置用のベローズ、エアコン用の作動弁、冷却装置のダイヤフラム
板厚: 0.010~2.0mm ※材質によって変わります。
幅 : 3.0~300mm ※300mm以上もご相談ください。
長さ: COIL もしくは ~2,000mm
当社では、ベローズに使われる材料として以下のような材質が製造可能です。
使用環境や目的にあった材質を選定ください。
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材質 | 強度※ | 耐熱性 | 耐食性 | 価格 | 特徴 |
---|---|---|---|---|---|
SUS304 SUS304L |
B | A | B | S | オーステナイト系ステンレス鋼で、汎用性の高い鋼種です。 加工性、溶接性に優れ、耐熱・耐食性も良好なため、一般向けに使用されます。 |
SUS316 SUS316L |
B | A | A | S | オーステナイト系ステンレス鋼で、SUS304/304LにMoを添加することでより耐食性に優れた鋼種です。SUS304/304L同様、一般向けに使用される材質です。 |
TOKKIN 350 | S | B | A | A | 析出硬化系ステンレス鋼で、耐力、繰り返し疲労強度に優れ、他のステンレスより溶接性や耐食性、対酸化特性にも優れた鋼種です。 |
Alloy 625 | A | S | S | B | Ni-Cr-Mo合金で、優れた耐食性と耐熱性を兼ねそろえた固溶強化合金です。 |
HC-22 HC-276 |
A | S | S | B | Ni-Cr-Mo合金で、全般的に優れた耐食性を持ちます。酸化性・還元性の双方の腐食環境に対して耐食性を有するため、酸化・還元が繰り返し起こる用途に使用されます。 |
S・・・非常に良い A・・・良い B・・・中程度 R・・・制限あり
※ベローズとしての強度
当社材質名と対応する標準規格は下表の通りです。
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当社材質名 | UNS | AISI | 標準規格 | その他 |
---|---|---|---|---|
SUS304 | S30400 | 304 | JIS G4305 | |
SUS304L | S30403 | 304L | JIS G4305 | |
SUS316 | S31600 | 316 | JIS G4305 | - |
SUS316L | S31603 | 316L | JIS G4305 | |
TOKKIN 350 | S35000 | 633 | AMS 5548 | ASTM A693(Type 633) |
Alloy 625 | N06625 | --- | AMS 5599 AMS 5666 |
ASTM B443 |
HC-276 | N10276 | --- | ASTM B574 ASTM B575 |
|
HC-22 | N06022 | --- |
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材質 | C | Si | Mn | P | S | Cr | Ni | Mo | N | Fe |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
SUS304 | ≦0.08 | ≦1.00 | ≦2.00 | ≦0.045 | ≦0.030 | 18.00-20.00 | 8.00-10.50 | - | - | Bal. |
SUS304L | ≦0.030 | ≦1.00 | ≦2.00 | ≦0.045 | ≦0.030 | 18.00-20.00 | 9.00-13.00 | - | - | Bal. |
SUS316 | ≦0.08 | ≦1.00 | ≦2.00 | ≦0.045 | ≦0.030 | 16.00-18.00 | 10.00-14.00 | 2.00-3.00 | - | Bal. |
SUS316L | ≦0.030 | ≦1.00 | ≦2.00 | ≦0.045 | ≦0.030 | 16.00-18.00 | 12.00-15.00 | 2.00-3.00 | - | Bal. |
TOKKIN 350 | 0.07-0.11 | ≦0.50 | 0.50-1.25 | ≦0.040 | ≦0.030 | 16.00-17.00 | 4.00-5.00 | 2.50-3.25 | 0.07-0.13 | Bal. |
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材質 | Mo | Cr | Fe | W | Co | C | Si | Mn | V | p | S | Ni | Nb+Ta | Ti | Al |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Alloy 625 | 8.0-10.0 | 20.0-23.0 | ≦5.0 | - | ≦1.0 | ≦0.10 | ≦0.50 | ≦0.50 | - | ≦0.015 | ≦0.015 | Bal. | 3.15-4.15 | ≦0.40 | ≦0.40 |
HC-276 | 15.0-17.0 | 14.5-16.5 | 4.0-7.0 | 3.0-4.5 | ≦2.5 | ≦0.02 | ≦0.08 | ≦1.0 | ≦0.35 | ≦0.004 | ≦0.03 | Bal. | - | - | - |
HC-22 | 12.5-14.5 | 20.0-22.5 | 2.0-6.0 | 2.5-3.5 | ≦2.5 | ≦0.015 | ≦0.08 | ≦0.5 | ≦0.35 | ≦0.025 | ≦0.02 | Bal. | - | - | - |
物理的性質は下表の通りです。
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材質 | 密度 [g/cm3 ] |
比熱 [J/(kg・K)] |
電気抵抗 [μΩ・cm] |
ヤング率 [GPa] |
熱膨張係数 [×10-6/K] |
熱伝導率 [W/(m・K)] |
磁性 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
SUS304 | 7.9 | 502 | 72 | 193 | 17.3 | 16.3 | なし(但し状態による) |
SUS316 | 8.03 | 502 | 74 | 193 | 16 | 16.3 | なし(但し状態による) |
TOKKIN 350 | 7.92 | 461 | 79 | 200 | 15.2 | 15.4 | あり |
Alloy 625 | 8.44 | --- | 129 | 207.5 | 12.8(93℃) | 9.8(21℃) | なし |
HC-276 | 8.89 | 427 | 130 | 205 | 11.2 | 11.1 | なし |
HC-22 | 8.89 | 414 | 114 | 206 | 12.4 | 11.1 | なし |
一般的にベローズ用途では、焼鈍状態にひずみ補正のための軽圧延(スキンパス)を行った2B仕上げで供給いたします。 各材質の2B仕上げにおける機械的性質は下表の通りですが、当社では受注生産による柔軟な規格設定が可能ですので、ご注文前にすりあわせをお願いいたします。
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材質 | 板厚 [mm] |
焼鈍状態(BA, 2B) | SCT850 状態 | ||||||
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硬さ [HV] |
引張強さ [MPa] |
耐力 [MPa] |
伸び [%] |
硬さ [HV] |
引張強さ [MPa] |
耐力 [MPa] |
伸び [%] |
||
TOKKIN 350 | 0.039 ~0.051 | 要相談注 | ≦1393 | ≦641 | 9≦ | 要相談注 | 1276≦ | 1034≦ | 4≦ |
0.052 ~0.127 | 要相談注 | ≦1372 | ≦627 | 10≦ | 要相談注 | 1276≦ | 1034≦ | 6≦ | |
0.128 ~ 0.254 | 要相談注 | ≦1351 | ≦614 | 12≦ | 要相談注 | 1276≦ | 1034≦ | 6≦ | |
0.255 ~ 0.508 | 要相談注 | ≦1331 | ≦600 | 14≦ | 要相談注 | 1276≦ | 1034≦ | 8≦ |
注:引張試験値を満足していれば硬さは参考値となります。硬さ規格をご要望の際はご相談ください。
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材質 | 焼鈍状態(BA, 2B) | |||
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硬さ [HV] |
引張強さ [MPa] |
耐力 [MPa] |
伸び [%] |
|
SUS304L | ≦220 | 480≦ | 175≦ | 40≦ |
SUS316L | ≦220 | 480≦ | 175≦ | 40≦ |
Alloy 625 | ≦240 | 827≦ | 414≦ | 30≦ |
HC-276 | ≦260 | 690≦ | 283≦ | 40≦ |
HC-22 | ≦260 | 690≦ | 310≦ | 45≦ |
注:板厚などにより、保証範囲が変わる場合があります。
当社製造のすべての材質において、箔材(板厚0.10mm未満)を製造いたします。
SUS304にMoを添加し耐食性を高めたステンレス鋼です。SUS316LとSUS316の違いもこちらから。
ステンレス鋼よりも耐食性や耐熱性などに優れるNi、Co、Tiの各種合金ラインナップはこちらから。